2018年4月11日至15日，第46届日内瓦国际发明展在瑞士日内瓦举行，我院微纳制造所陈蓉教授团队“高效模块化纳米薄膜沉积系统”获得特别金奖。
高效模块化纳米薄膜沉积系统集模块化喷头分气装置、先进的闭环温控和运动曲线算法于一体，通过模块化喷头的双向扩展可实现常压条件下不同尺寸基底的薄膜沉积。通过卷到卷模块的集成可进一步满足柔性衬底的沉积需求，其可广泛应用于光伏背板、柔性电子制造、高端食品和医药包装等领域中。这一发明得到了专家评审团的一致认可，一举斩获本届日内瓦国际发明展最高奖——特别金奖。
左图为陈蓉教授为评审团讲解发明；右图为陈蓉教授获特别金奖
据了解，日内瓦国际发明展览会创办于1973年，是一年一度由瑞士联邦政府及日内瓦市政府所赞助的大型国际展览，也是国际上规模和影响力最大的发明展览会之一。本届发明展吸引了包括40个国家地区、近千件作品参加。
我院微纳制造所是由陈蓉教授领军，开展面向工业级微纳米颗粒原子层沉积表面包覆改性技术与装备研发，已完成粉末包覆ALD装备公斤级原型机开发和连续生产工业机设计，具有良好的市场前景。