2024年10月17日至20日,首届亚太原子层沉积会议(1st Asian-Pacific Atomic Layer Deposition Conference)在上海外高桥喜来登酒店成功举办。本次大会由Asian Pacific-ALD联盟主办,华中科技大学及华中科技大学无锡研究院共同承办。华中科技大学陈蓉教授担任大会主席,韩国蔚山国家科学技术研究所Soo-Hyun Kim教授担任联席主席。大会吸引了来自韩国、日本、澳大利亚、芬兰、新加坡、越南、俄罗斯等多个国家和地区的300余位专家学者,共同探讨ALD这一前沿技术的最新研究进展和应用前景。本次会议共贡献了125份报告,包括2个大会报告、18个主题报告、37个邀请报告、38个口头报告和30个海报展示,涵盖了丰富的研究主题。
开幕式上,大会主席陈蓉教授致欢迎辞,对参加本次亚太原子层沉积会议的各位专家、学者表示热烈欢迎,期待通过本次会议促进学术界与产业界的交流,并预祝本次会议取得圆满成功。陈蓉教授回顾原子层沉积(ALD)技术五十年以来的发展历程,表示本届会议将促进各国学者之间的合作与交流,推动原子层沉积技术的发展与应用。韩国延世大学Hyungjun Kim教授进行了题为“ALD for Two Dimensional Chalcogenides Nanomaterials”的大会报告,介绍ALD技术在合成二维过渡金属二硫化物纳米片方面的应用。东京电子有限公司总监Yamato Tonegawa博士进行了题为“Process Technologies to Enable Future Device and Scaling”的大会报告,从半导体设备供应商的角度探讨半导体制造的前景,介绍先进技术的利用,并举例说明 ALD 反应器及其在薄膜形成中的应用。
在各分论坛上,江苏微导纳米科技股份有限公司首席技术官黎微明、香港科技大学王文教授、南京大学丁孙安教授、中国科学技术大学路军岭教授、山东大学陈杰智教授、华东理工大学庄黎伟副教授、西北工业大学张健康副教授、南京大学万昌锦教授、中国科学院微电子研究所王晓磊研究员、南方科技大学于严淏副教授、上海科技大学谢琎研究员、四川大学赵德威教授、西安近代化学研究所冯昊副研究员、香港大学Lain-Jong Li教授、中国科学院上海微系统与信息技术研究所郑理研究员、柔电(武汉)科技有限公司CEO解明、东南大学刘道银教授、浙江大学赵俊杰研究员、安徽大学何刚教授、南京大学李爱东教授、吉林大学段羽教授、南开大学孙甲明教授、上海大学丁星伟副研究员等的交流内容从半导体技术到能源应用,从理论仿真到实验研究,探讨了ALD技术发展的趋势、方向和应用实例,展示了原子层沉积技术的最新科研成果和进展,体现了亚太地区在该技术领域的前沿研究成就与广泛影响力。一位与会者表示:“The conference exceeded my expectations. It provided a unique platform to engage with world-class experts and explore cutting-edge developments in ALD technology.”(此次会议超出了我的预期,它为我提供了一个与世界顶尖专家交流、并深入探索ALD技术前沿进展的独特机会。)另一位来自工业界的专家提到:“The diversity of topics and the depth of discussions were truly impressive. I made valuable connections that will undoubtedly lead to future collaborations.”(议题的多样性和讨论的深度给我留下了深刻印象,我结识了许多宝贵的合作伙伴,这无疑将促成未来的合作。)
在大会的尾声,本届大会主席、华中科技大学陈蓉教授将象征大会责任与使命的2024 AP-ALD大会旗帜郑重交接给下一届大会主席、韩国蔚山科学技术院Soo-Hyun Kim教授。这一交接不仅标志着本次大会的圆满结束,也预示着亚太原子层沉积会议的持续传承和不断发展。随着旗帜的传递,会议的影响力将进一步深化,推动下一届在已有成果基础上继续扩大国际合作,聚焦更具实质性的技术突破和应用成果。
此次会议在上海的成功举办不仅为上海的经济发展注入了新活力,也进一步增强了长三角地区在科技创新领域的影响力,推动了区域内的协同发展。无锡研究院作为长三角地区的重要科研机构,共同承办了此次亚太ALD会议,加强了与国内外专家的交流与合作,彰显了其在推动区域科技交流与合作中的重要作用。
本次会议得到思锐智能、迈纳德、Swiss Cluster、香港电子、源象化学、SUPERALD、爱牟源、朗铭润德、Nata、北方华创和苏州晶拓半导体科技有限公司的积极参与和支持,推动了产业与科研的协同创新,促进了技术在实际应用中的转化和发展。