我院顺利承办“The 1st Asian-Pacific Atomic Layer Deposition Conference”当前位置: 首页 » 资讯中心 » 院内新闻

   由Asian Pacific - ALD联盟主办,华中科技大学、华中科技大学无锡研究院共同承办的“The 1st Asian-Pacific Atomic Layer Deposition Conference”(简称:AP-ALD 2024)于2024年10月17日-20日在上海召开。


   ALD技术在微电子、光电子、光学涂层、功能性纳米材料、微机电系统/纳米材料、储能、生物技术、催化技术等领域得到了广泛的应用和探索。这归因于ALD的一些独特优势,包括对纳米厚度的精确控制、大面积的优异均匀性、优异的一致性、相对较低的沉积温度和化学计量组成。特别是在微电子领域,ALD已经深入到先进的集成电路中,为Cu互连等制备高-k/金属栅极、间隔物和超薄扩散势垒。此外,ALD还因其在光伏、柔性电子、有机电子、平板显示器等新兴领域的潜在应用而备受关注。


   本次大会邀请了国内外ALD技术领域的知名专家、教授及学生参会,共同探讨在该领域的最新成果及研究经验,展望该领域未来的发展方向,为国内外ALD技术领域研究人员之间的合作提供良好的平台。